對位精度

本发明的有益效果为，本发明可对高对位精度镭射直接成像设备的重复对位精度与层间对位精度进行检测，具备自身影响转移的特征且精度高最小误差可达到1um，另外，利用本发明 ...

高效能、高精度：支援高運算效能與最高1/60次像素精度演算法，以640x480攝影機搭配常見0.5X光學倍率的鏡頭來計算，對位精度最佳可高3.33um(微米)，若使用更高畫素 ...

術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。課程從精. 密定位與AOI對位技術需求講起，定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係，到.

機械對位乃使用晶圓本身的幾何特徵尺寸作為粗定位依據，再以治具本身的對位設計提升對位精度，依據SEMI Standard於12吋晶圓的製程要求，晶圓接合的對位誤差必須小於±50 μm ...

□對位精度檢測. 自動光學檢測. 金相 ... 雙面/上下對位自動測定機 · 手機按鍵-影像自動辨識系統 · 採血筆外觀檢測 · 插PIN機CCD自動 ...

微影製程中，曝光機在執行基板粗對位(coarse alignment)時的誤差精度準確與否，將影響生產的產量及順暢性。粗對位誤差越小越好，不佳的誤差將導致對位時間過久， ...

由 定明啟 著作 · 2015 — 本論文主要目的是應用於雷射曝光機，在曝光前的對位系統精準度提升，其方式為利用機器視覺建構一套對位邏輯，針對因鑽孔製程造成靶孔的孔位精度或品質不良的影像， ...

2024年4月29日 — 定位精度是指工具機之刀尖點定位至程式目標點的能力，其量測路徑如下圖五所示：(1)、(3)前後需留越程量，避免量測受到反向誤差（背隙、失位）之影響，(2) ...

... 對位平台運轉，讓產品到之前設定的基準位置上，以達到快速、高精度對位。 通過對定位參照點的識別計算出被測物體在XYθ方向的偏移量，並自動控制移動平台反向移動相應的 ...

在有μm 單位層級精度要求的機器中，僅靠一次對位可能無法減小誤差。此時，需實施多次對位，造成大幅增加時間成本。 歐姆龍建議採用排除工件停止時間(處理時間增加的主因) ...